無源器件的S參數測試相對比較簡單,對于雙端口無源器件,比如濾波器、衰減器等,可以使用兩端口矢網。但是對于多端口無源器件,比如功分器、耦合器、雙工器及合路器等,為了保證測試精度,建議使用四端口矢網測試。
對于有源器件的測試,除需要測試小信號S參數,還要測試相應的非線性特性指標,如P1dB,三階交調點,諧波失真等。因三階交調測試需要儀表提供一個雙音激勵信號,對于四端口ZVA40,標配帶有兩個獨立的內部源,因此可以單獨完成放大器的三階交調測試,圖24給出了測試連接圖及測試結果。對于功率放大器,有時還要測試其正常工作狀態(tài)下的S參數,如輸出端口的熱駐波比。圖25給出了基于ZVA的熱駐波比測試連接示意圖,Port3給放大器提供一個激勵信號f2,使其正常工作,Port2輸出一個不同頻率的小信號f1,用于測試放大器輸出駐波比,建議f1與f2相差1MHz,那么在接收機側通過設置合適的IF BW就可以輕松地實現二者的分離,從而完成熱駐波比的測試。
功率放大器需要在一定激勵功率下才能夠正常工作,如果所要求的驅動功率超出了矢網主機端口輸出的最大功率,并且要求測試功放的四個S參數,此時就需要使用圖26所示的測試裝置,外部引入相應的驅動放大器、雙定向耦合器、環(huán)形隔離器等,為了保護儀表,還需要引入一定的衰減器。
圖24.基于ZVA的小信號放大器測試連接示意圖
圖25.基于ZVA的熱駐波比測試連接示意圖
圖26.基于ZVA的高功率放大器測試連接示意圖
對于77GHz的元器件測試,已經超過了ZVA40主機的工作頻率范圍,需要使用外部變頻器模塊ZVA-Z90,如圖27所示。ZVA-Z90配合ZVA40可以實現非常優(yōu)異的系統(tǒng)動態(tài)范圍,在60GHz~90GHz頻率范圍內,系統(tǒng)動態(tài)范圍超過115dB,這是準確測試濾波器帶外抑制及天線隔離度的有力保障。同時,ZVA-Z90具有極高的端口輸出功率,可以達到+10dBm,能夠完成大功率測試。ZVA-Z90也同樣適用于高增益器件的測試,因為其具有70dB的功率調節(jié)范圍。ZVA-Z90波導端口的輸出功率是通過調整ZVA40主機端口輸出功率來調整的,因此可以非常方便地實現波導端口處的功率掃描,以測試毫米波放大器的P1dB。
圖27. ZVA借助于ZVA-Z90實現頻率至90GHz的矢量網絡分析方案
對于將來要涉及的在片測試,羅德與施瓦茨公司也有相應的方案。
器件的在片測試主要應用在器件建模,工藝優(yōu)化以及毫米波測試方面,主要的測試參數有S參數、噪聲系數、相位、功率、P1dB、三階交調等,對比普通器件測試,在片測試的關鍵是如何進行電路測試的連接,測試校準的實現,以及如何準確一致的測試全部器件參數。器件的連接主要在于探針臺系統(tǒng)和測試夾具的選擇,羅德與施瓦茨公司則針對測試校準、參數測量方面提供非常全面及專業(yè)的解決方案。
在片測試時,芯片的每次連接都會導致電路參數和測試數據的改變,影響器件建模和工藝優(yōu)化,以及器件的準確測量。利用R&S矢量網絡分析儀ZVA,一次連接即可實現多種參數的在片測量,包括標準S參數、時域測量、變頻測量、真差分測量 (混合模式S參數)、噪聲系數測量等,對于功率器件,也可以實現脈沖S參數的測量,確保所有電路參數的準確可靠一致。
兼容Cascade探針臺,可以實現毫米波太赫茲器件的在片測量。Cascade Wincal軟件支持矢量網絡分析的校準。由于ZVA-Z90變頻器模塊采用無風扇的冷卻處理,工作過程中無噪聲和振動,特別適合探針臺及在片測量。
在片矢量網絡分析測量系統(tǒng)由R&SZVA40矢量網絡分析儀、ZVA-Z90系列毫米波變頻模塊、NGMO2雙通道直流電源以及探針臺和探針組成,如28所示,可完成60GHz-90GHz在片矢量網絡分析測量。
圖28所示接口中,1-4為3.5mm(M-F)同軸電纜,5-6為直流電源電纜,7-8為GPIB或LAN電纜,9-10為波導。
圖28. 在片矢量網絡分析測量系統(tǒng)框圖
圖29. 在片矢量網絡分析測量
圖30. 在片差分器件測試