HEIDENHAIN 海德漢 敞開(kāi)式光柵尺
LIP敞開(kāi)式直線光柵尺精度優(yōu)于±1 μm
LIP敞開(kāi)式直線光柵尺的特點(diǎn)是測(cè)量步距小,精度高。其測(cè)量光柵采用基于玻璃或玻璃陶瓷的相位光柵。
LIP型光柵尺主要用于:
測(cè)量機(jī)和比較儀
測(cè)量顯微鏡
超精密機(jī)床,例如加工光學(xué)元件的金剛石車床,加工磁盤的端面車床和加工鐵氧體元件的磨床
半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)
電子工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
LIP300 系列
分辨率高,測(cè)量步距可達(dá)1納米
信號(hào)周期極小,因此重復(fù)性極高
采用Zerodur玻璃陶瓷測(cè)量光柵,因此它具有確定的溫度特性
LIP400 系列
尺寸緊湊測(cè)量步距達(dá)0.005μm
可提供多種熱膨脹系數(shù)的光柵尺
LI[P500系列
測(cè)量長(zhǎng)度可達(dá)1440mm
測(cè)量步距達(dá)0.05 μm
LIF,LIDA敞開(kāi)式直線光柵尺精度為±3μm
LIF 和 LIDA 光柵尺的特點(diǎn)是易于安裝。其典型應(yīng)用包括:
坐標(biāo)測(cè)量機(jī)
檢測(cè)機(jī)
PCB 板組裝機(jī)
PCB 板鉆孔機(jī)
精密操作設(shè)備
測(cè)量直線電機(jī)的位置和速度
用SUPRADUR工藝在玻璃基體可知的相位光柵作為L(zhǎng)IF直線光柵尺的測(cè)量光柵。其信號(hào)周期小,因此重復(fù)性好。
LIDA 直線光柵尺采用AURODUR鋼帶光柵作測(cè)量光柵。它適合于高速轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)量,最高速度可達(dá)8m/s.由于其特殊的掃描方法使它承受光柵尺上的污染和安裝面不平的能力較強(qiáng)。
LIP400 系列
用HEIDENHAINPRECIMET彈性膠帶殼快速方便地固定光柵尺
由于采用SUPRADUR刻線技術(shù)使它對(duì)污染不敏感
重復(fù)性好
具有確定溫度特性
安裝速度快
用限位開(kāi)關(guān)和回零軌檢測(cè)位置