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keysight是德 B2200A fA 級低泄漏開關主機

名稱:其他儀器與工具

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簡介:keysight是德 B2200A fA 級低泄漏開關主機 主要特性與技術指標 一般特性 通過指示燈顯示繼電器狀態(tài),可以快速驗證和調試測量設置 支持使用鍵盤或可選光筆在前面板上進行控制操作 Keysight EasyEXPERT 軟件可以通...

  • 產品介紹

keysight是德 B2200A fA 級低泄漏開關主機
主要特性與技術指標

一般特性

  • 通過指示燈顯示繼電器狀態(tài),可以快速驗證和調試測量設置
  • 支持使用鍵盤或可選光筆在前面板上進行控制操作
  • Keysight EasyEXPERT 軟件可以通過直觀的 GUI 控制和自動執(zhí)行開關設置
  • 優(yōu)化的 CV 輸入包括綜合的 EasyEXPERT 軟件電容補償

測量能力

  • 使用 4156C、B1500A 或 E5270B HRSMU,通過開關可實現 1 毫微微安的測量分辨率
  • < 2 秒的瞬時電流穩(wěn)定時間(< 50 fA)(10 V 輸入步進):這是補充數據
  • 30 MHz 帶寬(- 3 dB)
  • 為低電流(三軸)路徑提供 100 T 歐姆的通道隔離

體系結構

  • 8 路低電流(三軸)輸入和 6 路通用(同軸)輸入
  • 模塊化設計支持 x12、x24、x36 和 x48 三軸輸出配置
  • 14 條內部路徑(無多路復用的輸入)
  • 兼容 Keysight B2220A 低泄漏探頭卡接口

keysight是德 B2200A fA 級低泄漏開關主機描述

本頁內容:行業(yè)挑戰(zhàn) • 摘要 • 特性和優(yōu)勢 • 元器件 • 主要技術指標 • 相關是德產品

B2200A 可自動執(zhí)行表征測試,從而降低測試成本,同時不會影響半導體參數分析儀的測量性能。它支持 4 SMU 完全 Kelvin 配置和電容表,并可在未來進行擴展。此外,它還具有 14 路輸入,每路輸入都使用唯一的內部測量路徑,其中兩路輸入還具有特殊的電容測量補償特性。它還支持脈沖發(fā)生器等儀器。用戶可使用鍵盤或可選光筆通過前面板進行操控。

行業(yè)挑戰(zhàn)

對半導體晶圓上的眾多測試結構進行所有必要的參數測量,可能需要耗費大量時間和成本。隨著最終用戶設備的成本持續(xù)下降,甚至實驗室表征環(huán)境也必須降低測試成本。使用包含半自動或全自動晶圓探頭的開關矩陣,可以自動執(zhí)行表征測試,在每次測試新模塊時也無需操作人員手動復位探頭。這樣既縮短測試時間,又節(jié)省測試成本。

許多現有的開關矩陣都有內在的局限性。例如,許多開關矩陣會降低半導體參數分析儀的低電流測量性能,成為測量鏈中最薄弱的環(huán)節(jié)。如果內部路徑數量不足,那么開關矩陣就無法支持 4 終端完全 Kelvin 測量和電容表,而且每次將測量從 IV 變成 CV 時都需要花很長時間手動改變電纜連接。最后,如果開關矩陣不能對電容測量結果進行補償,以消除因路徑長度而產生的測量失真,那么這些測量結果也將會是不準確的。

摘要

無與倫比的開關矩陣性能

B2200A fA 級低泄漏開關主機提供出色的低電流泄漏和電容測量性能,沒有其他替代解決方案所具有的限制。能夠支持 1 fA 測量,意味著它不會降低半導體參數分析儀的高性能。輸入數量足夠多,則可以支持4-SMU 完全 Kelvin 配置。所有 14 路輸入對應唯一的內部路徑,因此可以同時使用。與其他同類解決方案不同,它可以避免每個通道的路徑長度不同所產生的固有誤差,確保電容測量結果不會出現失真;此外,系統提供了必要的參數和算法來補償這些差異。它的模塊化結構支持 12、24、36 或 48 路輸出配置,使用起來具有極大的靈活性。30 MHz 帶寬使它可以使用脈沖發(fā)生器等儀器。附加的 LED 顯示屏和使用鍵盤或可選光筆進行操控的前面板,使操作人員可以非常靈活地進行操作。

  • 緊跟半導體參數分析儀性能的步伐
    一流的半導體參數分析儀已經達到新的性能水平。B2200A 開關矩陣能夠支持 1 fA 測量分辨率,緊跟半導體參數分析儀性能的步伐,而不會損失任何測量性能。
  • 避免多路復用的測量限制
    避免花費很長時間手動切換 B2200A 的 14 條內部測量路徑,因而延誤測量進度。每路輸入都有自己唯一的內部路徑,使您可以同時使用所有輸入。
  • 準確的電容測量
    在測量電容時,電纜長度(包括矩陣中的路徑)對測量結果有很大影響。通過使用針對電容測量優(yōu)化過的兩路 BNC 輸入,B2200A 開關矩陣主機――與同類解決方案不同――可以校正因為矩陣內部路徑長度而產生的誤差,提供補償參數以確保測量結果不失真。

特性和優(yōu)勢

特性 優(yōu)勢:
1 毫微微安(femtoamp)分辨率的電流測量能力 開關矩陣不會影響半導體參數分析儀的測量性能。
8 路三軸輸入和 6 路 BNC 輸入 支持 4 SMU 完全 Kelvin 配置和電容表,并留出 4 路 BNC 輸入用于未來擴展;
14 條可同時使用的內部路徑 使您能夠同時使用全部 8 路三軸輸入和全部 6 路 BNC 輸入。
電容測量補償特性 校正因為矩陣內部路徑長度而產生的誤差,使您可以通過開關矩陣準確測量電容。
LED 顯示屏和可通過鍵盤或可選光筆進行操控的前面板 通過顯示矩陣繼電器狀態(tài)以及支持手動更改繼電器狀態(tài),使您能夠對測量結構進行離線調試。
30 MHz 帶寬 您可以通過 B2200A 開關使用脈沖發(fā)生器等儀器。

元器件

  • B2200A fA 級低泄漏開關主機
  • B2210A fA 級低泄漏開關模塊

主要技術指標

B2200A
技術指標
端口數  
I-V 端口 8 個三軸端口(包括 Guard 端口)
AUX 端口 6 個 BNC 端口(2 個 CV 端口)
輸出通道 可使用三軸端口(包括 Guard 端口)、x12、x24、x36 和 x48 配置
插槽數 4 個插槽,用于插入 48 毫米高的開關模塊
B2210A
技術指標
最大額定電流  
I-V 端口 1.0 A
AUX 端口 0.5 A
最大額定電壓  
I-V 端口(其他通道) 200V
I-V 端口(通用) 300V
AUX 端口(其他通道) 100V
AUX 端口(通用) 100V
通道隔離  
I-V 端口 1 x 10^14(歐姆)
AUX 端口 1 x 10^9(歐姆)
偏置電流(補充)  
IV 端口 50 fA
IM 噪聲(RMS)(補充)  
I-V 端口 5 fA
其他電容測量誤差(補充) < ± 1 % + 0.2 pF
帶寬(--3 dB 時) 30 MHz
穩(wěn)定時間(補充) 2.0 秒(50 fA 時)

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