牛津儀器 納米操縱手OmniProbe 200是一款安裝在FIB和SEM端口上的納米操縱手,內(nèi)置了一個(gè)100nm閉環(huán)反饋控制器,具有準(zhǔn)確、靈活、易用等特點(diǎn)。使用閉環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行操作,完全獨(dú)立于電鏡樣品臺(tái)定位,從而為樣品操作提供了額外的自由度。該專利利用定制的樣品臺(tái)和探針組合(CSP)可將樣品重新定位到特定角度。
牛津儀器 納米操縱手OmniProbe 200以其有效性和易于操作和使用而聞名,用戶可以:
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中和樣品表面富集電荷;
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測(cè)量納米結(jié)構(gòu)的電學(xué)性能(EBIC,EBAC,電流探測(cè));
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在FIB中進(jìn)行TEM樣品制備,包括平面樣品和背切樣品;
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在SEM中制被以用于TEM和原子探針觀察;
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制備用于TEM、EDS及其它分析所需的高質(zhì)量樣品;
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冷凍提取。
特色和優(yōu)點(diǎn)
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包括第8代具有創(chuàng)新性的先進(jìn)技術(shù);
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實(shí)現(xiàn)從納米線操作到TEM樣品制備,再到電學(xué)和機(jī)械測(cè)量的各種應(yīng)用;
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3軸樣平臺(tái)可以沿任意方向線性移動(dòng)(全向性);
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在任何樣品傾斜角度下都能實(shí)現(xiàn)正交導(dǎo)航;
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將樣品快速旋轉(zhuǎn)到特定角度;
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可以大范圍內(nèi)執(zhí)行平穩(wěn)而精確的操作;
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即使在視野外也始終知道探頭尖端的位置;
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在任意端口安裝都可以預(yù)測(cè)移動(dòng)行為;
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可以輕松地調(diào)出存儲(chǔ)位置,減少操作員疲勞,并提高成功率;
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避免碰撞;
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氣動(dòng)插入/回縮鏈接到電鏡軟件(取決于OEM);
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內(nèi)置能力,可為針施加最大+/- 10 V的偏壓,用于電壓襯度成像或其他應(yīng)用。
同軸旋轉(zhuǎn)功能
同軸旋轉(zhuǎn)分辨率可達(dá)0.1度,使樣品在旋轉(zhuǎn)期間一直處于相當(dāng)于60um水平視場(chǎng)的放大倍率下成像。
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可以安全的完成樣品旋轉(zhuǎn),沒有任何碰撞的風(fēng)險(xiǎn)。每次旋轉(zhuǎn)后,不需要重新定位樣品或探針尖端。
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在FIB中,這保證了對(duì)針尖打磨的速率及簡(jiǎn)易性,以改善電學(xué)特性表征的可靠性及對(duì)20nm以下特征樣品尺寸進(jìn)行操作時(shí)的精確性。
自動(dòng)化系統(tǒng)
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電腦和顯示器;
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2U機(jī)架式以太網(wǎng)控制器;
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帶有100nm線性反饋的3軸樣平臺(tái);
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運(yùn)動(dòng)控制軟件界面;
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用戶手冊(cè)和安裝指南。