布魯克Bruker DektakXT 探針式輪廓儀革命性的突破設(shè)計(jì)創(chuàng)新,實(shí)現(xiàn)了垂直高度重復(fù)性高達(dá)4埃,數(shù)據(jù)采集能力提高了40%。這一里程碑的創(chuàng)新和突破,使得布魯克Bruker DektakXT 探針式輪廓儀實(shí)現(xiàn)了納米尺度的表面輪廓測(cè)量,從而可以廣泛的應(yīng)用于微電子器件,半導(dǎo)體,電池,高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學(xué)領(lǐng)域。布魯克Bruker Dektak 是首臺(tái)基于微處理器控制的輪廓儀,首臺(tái)實(shí)現(xiàn)微米測(cè)量的臺(tái)階儀,首臺(tái)可以達(dá)到3D測(cè)量的儀器,首臺(tái)個(gè)人電腦控制的輪廓儀,首臺(tái)全自動(dòng)300mm臺(tái)階儀?,F(xiàn)在,全新的布魯克Bruker DektakXT 探針式輪廓儀延續(xù)了這種開創(chuàng)性的風(fēng)格,成為世界第一臺(tái)采用具有具有單拱龍門式設(shè)計(jì),配備全彩HD攝像機(jī),并且利用64位同步數(shù)據(jù)處理模式完成最佳測(cè)量和操作效率的臺(tái)階儀。
布魯克Bruker DektakXT 探針式輪廓儀提高測(cè)量和數(shù)據(jù)分析速度,首次采用獨(dú)特高速的直接驅(qū)動(dòng)掃描樣品臺(tái),布魯克Bruker DektakXT 探針式輪廓儀在不犧牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大縮短了每次掃描的間隔時(shí)間,將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高40%。另外,布魯克Bruker DektakXT 探針式輪廓儀采用具有64位數(shù)據(jù)采集同步分析的Vision64,可以提高大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度,并且可以加快數(shù)據(jù)濾波和多次掃描數(shù)據(jù)庫(kù)分析的速度。
布魯克Bruker DektakXT 探針式輪廓儀提高操作的可重復(fù)性,使用單拱龍門結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)更堅(jiān)硬持久不易彎曲損壞,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響。布魯克Bruker DektakXT 探針式輪廓儀會(huì)把系統(tǒng)和環(huán)境噪音引起的測(cè)量誤差降到最低,能夠更穩(wěn)定可靠的掃描高度小于10nm的臺(tái)階,獲得其形貌特征。
布魯克Bruker DektakXT 探針式輪廓儀有完善的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng),與布魯克Bruker DektakXT 探針式輪廓儀的創(chuàng)新性設(shè)計(jì)相得益彰的配置是布魯克Vision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上最實(shí)用簡(jiǎn)潔的用戶界面,具備智能板塊,可視化的使用流程,以及各種參數(shù)的自助設(shè)定以滿足用戶的各種使用要求,快速簡(jiǎn)便的實(shí)現(xiàn)各種類型數(shù)據(jù)的采集和分析。
布魯克Bruker DektakXT 探針式輪廓儀具有簡(jiǎn)便易行的實(shí)驗(yàn)操作系統(tǒng),布魯克Bruker DektakXT 探針式輪廓儀新穎的探針的部件自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)裝置,可以盡量避免用戶在裝針的過(guò)程中出現(xiàn)針尖損傷等意外。為盡可能滿足所有應(yīng)用的需求,布魯克提供各種尺寸的標(biāo)準(zhǔn)探針和特制探針。高效率的保證,布魯克Bruker DektakXT 探針式輪廓儀卓越的測(cè)量重復(fù)性為工程師們提供準(zhǔn)確的薄膜厚度和應(yīng)力測(cè)量,使其可以精確調(diào)節(jié)刻蝕和鍍膜工藝來(lái)提高產(chǎn)品的優(yōu)良率。
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