日立Hitachi AFM5500M 全自動型原子力顯微鏡的特點如下:
1. 自動化功能:高度集成自動化功能追求高效率檢測、降低檢測中的人為操作誤差。
2. 可靠性:排除機(jī)械原因造成的誤差、大范圍水平掃描、采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對掃描器圓弧運動所產(chǎn)生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是,用軟件校正方式不能完全消除掃描器圓弧運動的影響,圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。AFM5500M搭載了最新研發(fā)的水平掃描器,可實現(xiàn)不受圓弧運動影響的準(zhǔn)確測試。高精角度測量,普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器,在豎直伸縮的時候,會發(fā)生彎曲(crosstalk)。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因。AFM5500M中搭載的全新掃描器,在豎直方向上不會發(fā)生彎曲(crosstalk) ,可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。
3. 融合性:親密融合其他檢測分析方式。通過SEM-AFM的共享坐標(biāo)樣品臺,可實現(xiàn)在同一視野快速的觀察分析樣品的表面形貌,結(jié)構(gòu),成分,物理特性等。通過分析AFM圖像可以判斷,SEM對比度表征石墨烯層的厚薄。石墨烯層數(shù)不同導(dǎo)致表面電位(功函數(shù))的反差。SEM圖像對比度不同,可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。與其他顯微鏡以及分析儀器聯(lián)用正在不斷開發(fā)中。
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