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捷歐路JEOL JBX-6300FS 電子束光刻系統(tǒng)
名稱：其他儀器與工具
品牌：
型號(hào)：
簡(jiǎn)介：捷歐路JEOL JBX-6300FS 電子束光刻系統(tǒng)在100kV的加速電壓下能自動(dòng)調(diào)整直徑為（計(jì)算值）2.1nm的電子束，簡(jiǎn)便地描畫出線寬在8nm以下（實(shí)際可達(dá)5nm）的圖形。此外，該光刻系統(tǒng)還實(shí)現(xiàn)了9nm以下的場(chǎng)拼接精度和套刻精度，性能比...
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- 產(chǎn)品介紹
捷歐路JEOL JBX-6300FS 電子束光刻系統(tǒng)在100kV的加速電壓下能自動(dòng)調(diào)整直徑為（計(jì)算值）2.1nm的電子束，簡(jiǎn)便地描畫出線寬在8nm以下（實(shí)際可達(dá)5nm）的圖形。此外，該光刻系統(tǒng)還實(shí)現(xiàn)了9nm以下的場(chǎng)拼接精度和套刻精度，性能比優(yōu)越。利用最細(xì)電子束束斑（實(shí)測(cè)值直徑≦2.9nm）可以描畫8nm以下(實(shí)際可達(dá)5nm)極為精細(xì)的圖形。本公司獨(dú)特的ＤＦ/DS系統(tǒng)能對(duì)電子束偏轉(zhuǎn)產(chǎn)生的畸變進(jìn)行校正，具有球差和象散自動(dòng)補(bǔ)償功能，可在場(chǎng)邊角、場(chǎng)邊界處進(jìn)行高精度地描畫。該系統(tǒng)采用了19位DAC和樣品臺(tái)控制精度為0.6nm的激光干渉儀，實(shí)現(xiàn)了業(yè)界最高水準(zhǔn)的位置精度、拼接、套刻精度（±9nm）?！】捎糜谖恢镁纫蠛芨叩墓庾悠骷⑼ㄐ旁O(shè)備等領(lǐng)域的研究和開(kāi)發(fā)。
捷歐路JEOL JBX-6300FS 電子束光刻系統(tǒng)的自動(dòng)校正功能(自動(dòng)補(bǔ)償功能)，實(shí)現(xiàn)了可信賴的長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地描畫。自動(dòng)補(bǔ)償可以根據(jù)時(shí)間（任意的）、場(chǎng)和圖形進(jìn)行分別設(shè)定，非常適合于周末及休假等無(wú)人值守等情況下的長(zhǎng)時(shí)間描畫。
最大掃描速度高達(dá)50MHz，再加上最大程度地抑制了機(jī)器的準(zhǔn)備操作時(shí)間，因此縮短了描畫時(shí)間，到描畫開(kāi)始為止的作業(yè)非常簡(jiǎn)單，聚焦也能夠自動(dòng)進(jìn)行，因而能提高總產(chǎn)出量。使用自動(dòng)裝載系統(tǒng)（選配），最多可以連續(xù)描畫10個(gè)樣品架。（例：可連續(xù)描畫10張6英寸的晶圓片或者40張2英寸的晶圓片等?！B續(xù)描畫時(shí)，需要和材料數(shù)相應(yīng)的樣品架。）目前在日本國(guó)內(nèi)外已有這樣的生產(chǎn)線。利用微間距控制程序（場(chǎng)尺寸精調(diào)程序），可以制作DFB激光器等的啁啾光柵。
| 電子槍 | ZrO/W 肖特基型 |
| 描畫方式 | 描畫方式 |
| 加速電壓 | 25kV (選配), 50kV, 100kV |
| 樣品尺寸 | 最大200mmΦ的晶圓片, 最大 5英寸或 6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小樣品。 |
| 樣品尺寸 | 2000μmＸ2000μm |
| 樣品臺(tái)移動(dòng)范圍 | 190mmX170mm |
| 套刻精度 | ≦±9nm |
| 場(chǎng)拼接精度 | ≦±9nm |
| 掃描速度 | 最大 50MHz |
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