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捷歐路JEOL JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)
名稱：其他儀器與工具
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簡介：捷歐路JEOL JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。被加速了的鎵離子束經(jīng)聚焦照射樣品后，就能對樣品表面進(jìn)行SIM觀察 、研磨，沉積碳和鎢等材料。還可以為TEM成像制備薄膜樣品，為觀察樣品內(nèi)部制備...
- 產(chǎn)品介紹
捷歐路JEOL JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。被加速了的鎵離子束經(jīng)聚焦照射樣品后，就能對樣品表面進(jìn)行SIM觀察 、研磨，沉積碳和鎢等材料。還可以為TEM成像制備薄膜樣品，為觀察樣品內(nèi)部制備截面樣品。通過與SEM像比較，SIM像能清楚地顯示出歸因于晶體取向不同的電子通道襯度差異，這些都非常適合于評估多層鍍膜的截面及金屬結(jié)構(gòu)。
捷歐路JEOL JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)采用高性能的FIB鏡筒，最大離子束流高達(dá) 60 nA，能進(jìn)行快速研磨。大電流下的快速加工尤其適合于大面積的研磨，制備100 μｍ以上用來觀察的截面非常輕松。捷歐路JEOL JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)高性能的 FIB鏡筒具有出色的可操作性。用戶友好的外觀和GUI設(shè)計(jì)，建立了使用方便的FIB系統(tǒng)。即使不是FIB專家也能夠輕松操作，此外，該裝置小巧緊湊為業(yè)界最小體積，安裝地點(diǎn)的選擇范圍很大。捷歐路JEOL JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)標(biāo)配的塊狀樣品馬達(dá)驅(qū)動樣品臺可供塊狀樣品使用，此外還可以增配側(cè)插式測角臺（TEM用Tip-on 樣品架可以直接插入）。塊狀樣品馬達(dá)驅(qū)動樣品臺能觀察整個(gè)表面為20 mm x 20 mm的塊狀樣品，樣品交換可以通過氣鎖式系統(tǒng)快速進(jìn)行。側(cè)插式測角臺與JEOL的TEM系統(tǒng)使用的相同，因此Tip-on （尖端上可以安裝附件的）樣品架與JEOL的TEM系統(tǒng)可以通用，這樣，F(xiàn)IB加工和TEM觀察的反復(fù)交替就能很容易地進(jìn)行。有各種附件可用來支持JIB-4000的操作。包括對電路修改應(yīng)用特別有效的CAD導(dǎo)航系統(tǒng)，對特殊形狀加工有效的矢量掃描系統(tǒng)等。通過給JIB-4000安裝適當(dāng)?shù)母郊撓到y(tǒng)可以支持樣品制備以外的應(yīng)用。
| 離子源 | Ga （鎵）液態(tài)金屬離子源 |
| 加速電壓 | 1～30ｋV（5 kV/步） |
| 放大倍率 |
×60 （用于視場搜索） ×200～×300,000 |
| 圖像分辨率 | 5 nm (30 kV) |
| 最大束流 | 60 nA (at 30 kV) |
| 可變光闌 | 12 檔(馬達(dá)驅(qū)動) |
| 離子束加工形狀 | 矩形、線狀、點(diǎn)狀 |
| 樣品臺 |
塊狀樣品用 5 軸測角樣品臺 X:±11 mm Y:±15 mm Z:0.5 ～ －23 mm T:－5 ～ ＋60° R:360°無限 樣品最大尺寸: 28 ｍｍφ（高度13 ｍｍ）、50 ｍｍφ（高度2 ｍｍ） |
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