秦思肯Tescan FERA3 XM 掃描電子顯微鏡是一款由計算機全控制的Xe等離子聚焦離子束(i-FIB)場發(fā)射掃描電子顯微鏡,秦思肯Tescan FERA3 XM 掃描電子顯微鏡可選配氣體注入系統(tǒng) (GIS),可在高真空和低真空模式下工作,其具有突出的光學(xué)性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟和用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點?;赪indows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作和圖像采集,秦思肯Tescan FERA3 XM 掃描電子顯微鏡可以保存標準文件格式的圖片,可以對圖像進行管理、處理和測量,實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。
秦思肯Tescan FERA3 XM 掃描電子顯微鏡分析潛力:高亮度肖特基發(fā)射可獲得高分辨率,高電流和低噪聲的圖像;選配的In-Beam二次電子探頭可獲取超高分辨率圖像;三透鏡大視野觀察(Wide Field Optics™)設(shè)計提供了多種工作模式和顯示模式,體現(xiàn)了TESCAN特有可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計;結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計軟件的實時電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™)可模擬和進行束斑優(yōu)化;成像速度快;低電壓下的電子束減速模式(Beam Deceleration Technology – BDT)可獲取高分辨率圖像(選配);In-Beam背散射電子探頭,用于在小工作距離下得BSE圖像(選配),甚至適合鐵磁性樣品;全計算機化優(yōu)中心電動載臺設(shè)計優(yōu)化了樣品操控;完美的幾何設(shè)計更適合安裝能譜儀(EDX)、波譜儀(WDX)、背散射電子衍射儀(EBSD);由于使用了強力的渦淪分子泵和干式前置真空泵,因而可以很快達到電鏡的工作真空。電子槍的真空由離子泵維持。自動的電子光路設(shè)置和合軸;網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠程控制/診斷軟件;3維電子束技術(shù)提供實時立體圖像;低真空模式下樣品室真空可達到500Pa用于觀測不導(dǎo)電樣品;獨特的離子差異泵(2個離子泵)使得離子散射效應(yīng)超低;聚焦離子束鏡筒內(nèi)有馬達驅(qū)動高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器;聚焦離子束的標配包括了電子束遮沒裝置和法拉第筒;高束流下超高的銑削速度和卓越的性能;FIB切割、信號采集、3維重構(gòu)(斷層攝影術(shù)),3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化。成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件,圖像采集、存檔、處理和分析功能。
FERA3配置:FERA3 XMH,是一款完全由計算機控制的Xe等離子聚焦離子束(i-FIB)場發(fā)射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS),在真空模式下工作。FERA3 XMU,是一款完全由計算機控制的Xe等離子聚焦離子束(i-FIB)場發(fā)射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS),可在高真空和低真空模式下工作。
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