秦思肯Tescan LYRA3 GM 掃描電子顯微鏡是一款完全由計(jì)算機(jī)控制的聚焦離子束場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS),有高真空和低真空兩種模式,其具有突出的光學(xué)性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟、用戶(hù)界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等。
秦思肯Tescan LYRA3 GM 掃描電子顯微鏡分析潛力:高亮度肖特基發(fā)射可獲取高分辨率、高電流和低噪聲的圖像;可選配超高分辨率的In-Beam二次電子探頭;獨(dú)特的三透鏡大視野觀(guān)察(Wide Field Optics™)設(shè)計(jì)提供了多種工作模式和顯示模式,體現(xiàn)了TESCAN特有可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計(jì);結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™)可模擬和進(jìn)行束斑優(yōu)化;成像速度快;低電壓下的電子束減速模式(Beam Deceleration Technology – BDT),可獲得高分辨率(選配);In-Beam背散射電子探頭提供小工作距離下的BSE圖像(選配),甚至適合鐵磁性樣品的分析;全計(jì)算機(jī)化優(yōu)中心電動(dòng)載臺(tái)設(shè)計(jì)優(yōu)化了樣品操控;完美的幾何設(shè)計(jì)更適合安裝能譜儀(EDX)、波譜儀(WDX)、背散射電子衍射儀(EBSD);由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和無(wú)油干式真空泵,因而可以快速簡(jiǎn)單的得到干凈的真空樣品室。電子槍的真空由離子泵維持。全自動(dòng)設(shè)置的顯微鏡包括了電子光路設(shè)置和合軸功能網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置遠(yuǎn)程控制/診斷軟件為標(biāo)配;3維電子束技術(shù)提供了實(shí)時(shí)立體圖像;在低真空模式下樣品室真空可達(dá)到500Pa,用于觀(guān)測(cè)不導(dǎo)電樣品;獨(dú)特的離子差異泵(2個(gè)離子泵)使得離子散射效應(yīng)非常低;聚焦離子束鏡筒內(nèi)有馬達(dá)驅(qū)動(dòng)高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器;聚焦離子束的標(biāo)配包括了電子束遮沒(méi)裝置和法拉第筒;在高束流下,選配的Cobra聚焦離子束提供了超高的分辨率和卓越的性能;FIB切割、信號(hào)采集、3維重構(gòu)(斷層攝影術(shù)),3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化;成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件,圖片的獲取、存檔、處理和分析功能
LYRA3配置:裝有馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全計(jì)算機(jī)化優(yōu)中心樣品臺(tái)的超大樣品室電鏡,適用于在高真空模式下對(duì)導(dǎo)電樣品的分析。可變真空式SEM,體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)。在低真空模式下可以觀(guān)測(cè)不導(dǎo)電的樣品,不需要噴金。
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