S530 參數(shù)測(cè)試系統(tǒng) 

適用于必須操作各種設(shè)備和技術(shù)的生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，提供業(yè)界領(lǐng)先的測(cè)試計(jì)劃靈活性、自動(dòng)化、探頭測(cè)試臺(tái)集成以及測(cè)試數(shù)據(jù)管理功能。Keithley 擁有超過(guò) 30 年的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗(yàn)，針對(duì)這些測(cè)試解決方案的設(shè)計(jì)向全世界的客戶(hù)提供各種標(biāo)準(zhǔn)和自定義參數(shù)化測(cè)試儀。
 

S530 功能

• 能輕松適應(yīng)新設(shè)備和測(cè)試要求
• 快速、靈活、交互式測(cè)試計(jì)劃制定
• 兼容于常見(jiàn)的全自動(dòng)探頭測(cè)試臺(tái)
• 提供 1kV、C-V、脈沖生成、頻率測(cè)量和低壓測(cè)量選項(xiàng)
• 兼容于 Keithley 的 9139A 型探頭卡適配器
• 支持重復(fù)使用現(xiàn)有的五英寸探頭卡庫(kù)
• 經(jīng)驗(yàn)證的儀器技術(shù)確保在實(shí)驗(yàn)室和工廠中實(shí)現(xiàn)高測(cè)量精度和可重復(fù)性

S535 多站點(diǎn)晶片驗(yàn)收測(cè)試系統(tǒng) 

是一種大功率、高分辨率晶片級(jí)解決方案，用于跨制作工作流測(cè)試應(yīng)用中的模擬、電動(dòng)、混合信號(hào)和離散設(shè)備。與在一個(gè)站點(diǎn)上同時(shí)測(cè)試多臺(tái)設(shè)備的傳統(tǒng)異步并行測(cè)試方案不同，S535 的多站點(diǎn)并行測(cè)試方法在多個(gè)站點(diǎn)上同時(shí)測(cè)量多臺(tái)設(shè)備。這將探測(cè)器索引時(shí)間至少縮短 2 倍，從而提高制作生產(chǎn)率并降低測(cè)試成本。

S535 特點(diǎn)

• 在多站點(diǎn)并行或連續(xù)運(yùn)行中自動(dòng)執(zhí)行所有晶片級(jí)直流參數(shù)測(cè)試。觸摸一次探頭測(cè)試兩個(gè)或四個(gè)站點(diǎn)。
• 多達(dá) 64 根測(cè)試針：并行測(cè)試四個(gè)站點(diǎn)，每個(gè)站點(diǎn) 16 根針；并行測(cè)試兩個(gè)站點(diǎn)，每個(gè)站點(diǎn) 32 根針；連續(xù)測(cè)試一個(gè)站點(diǎn)，64 根針
• 高達(dá) 100 W 運(yùn)行：1 A 時(shí) 100 V；100 mA 時(shí) 200 V
• 在高速、多針、完全自動(dòng)的測(cè)試環(huán)境中 1 fA、10 nV 分辨率
• 基于 Linux 的 Keithley 測(cè)試環(huán)境 (KTE) 系統(tǒng)軟件兼容原有 Keithley 測(cè)試系統(tǒng)、支持輕松進(jìn)行測(cè)試開(kāi)發(fā)和快速執(zhí)行。
• Keithley S530 型探頭卡基礎(chǔ)設(shè)施也支持原有的 S400 應(yīng)用

S540 參數(shù)測(cè)試系統(tǒng) 

是一個(gè)全自動(dòng)化的 48 引腳參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)，適用于高達(dá) 3kV 的功率半導(dǎo)體器件和結(jié)構(gòu)的晶片級(jí)測(cè)試。完全集成式 S540 已針對(duì)包括碳化硅 (SiC) 和氮化鎵 (GaN) 在內(nèi)的最新復(fù)合功率半導(dǎo)體材料進(jìn)行優(yōu)化，可以在單次測(cè)試觸摸中執(zhí)行所有高電壓、低電壓和電容測(cè)試。

S540 功能

• 在單次探頭觸摸中自動(dòng)在多達(dá) 48 個(gè)引腳上執(zhí)行所有晶片級(jí)參數(shù)測(cè)試，包括高電壓擊穿、電容和低電壓測(cè)量，而無(wú)需更改電纜或探頭卡基礎(chǔ)設(shè)施
• 在最高達(dá) 3kV 的條件下執(zhí)行晶體管電容測(cè)量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而無(wú)需手動(dòng)配置測(cè)試引腳
• 在高速、多引腳、全自動(dòng)測(cè)試環(huán)境中實(shí)現(xiàn)低電平測(cè)量性能
• 基于 Linux 的 Keithley 測(cè)試環(huán)境 (KTE) 系統(tǒng)軟件支持輕松進(jìn)行測(cè)試開(kāi)發(fā)和快速執(zhí)行
• 非常適合于過(guò)程集成、過(guò)程控制監(jiān)控和生產(chǎn)芯片分類(lèi)中的全自動(dòng)或半自動(dòng)應(yīng)用
• 通過(guò)最大程度減少測(cè)試時(shí)間、測(cè)試設(shè)置時(shí)間和占地面積，降低擁有成本，同時(shí)實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室級(jí)測(cè)量性能

S500 集成式測(cè)試系統(tǒng) 

是高度可配置的、基于儀器的系統(tǒng)，適用于器件、晶片或暗盒級(jí)半導(dǎo)體檢定。S500 集成式測(cè)試系統(tǒng)基于我們經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的儀器，提供創(chuàng)新的測(cè)量功能和系統(tǒng)靈活性，并且根據(jù)您的需求可進(jìn)行擴(kuò)展。獨(dú)有的測(cè)量能力結(jié)合強(qiáng)大而靈活的自動(dòng)化檢定套件 (ACS) 軟件，提供市場(chǎng)上其他同類(lèi)系統(tǒng)無(wú)法提供的廣泛應(yīng)用和功能。 
 

S500 功能

• 全量程源測(cè)量單元 (SMU) 儀器技術(shù)規(guī)格，包括 subfemtoamp 測(cè)量，確保在幾乎任何設(shè)備上都能執(zhí)行廣泛的測(cè)量。
• 適用于內(nèi)存檢定、電荷泵、單脈沖 PIV（電荷陷阱分析）和 PIV 掃描（自加熱回避）的脈沖生成和超快 I-V。
• 利用支持 Keithley 系統(tǒng)的可擴(kuò)展 SMU 儀器，提供低或高通道數(shù)系統(tǒng)，包括并行測(cè)試。
• 適用于測(cè)試功率 MOSFET 和顯示驅(qū)動(dòng)器等測(cè)試器件的高電壓、電流和功率源測(cè)量?jī)x器。
• 開(kāi)關(guān)、探頭卡和布線(xiàn)保證系統(tǒng)完全適用于您的 DUT。