S530 參數(shù)測試系統(tǒng) 

適用于必須操作各種設(shè)備和技術(shù)的生產(chǎn)和實驗室環(huán)境，提供業(yè)界領(lǐng)先的測試計劃靈活性、自動化、探頭測試臺集成以及測試數(shù)據(jù)管理功能。Keithley 擁有超過 30 年的專業(yè)經(jīng)驗，針對這些測試解決方案的設(shè)計向全世界的客戶提供各種標(biāo)準(zhǔn)和自定義參數(shù)化測試儀。
 

S530 功能

• 能輕松適應(yīng)新設(shè)備和測試要求
• 快速、靈活、交互式測試計劃制定
• 兼容于常見的全自動探頭測試臺
• 提供 1kV、C-V、脈沖生成、頻率測量和低壓測量選項
• 兼容于 Keithley 的 9139A 型探頭卡適配器
• 支持重復(fù)使用現(xiàn)有的五英寸探頭卡庫
• 經(jīng)驗證的儀器技術(shù)確保在實驗室和工廠中實現(xiàn)高測量精度和可重復(fù)性

S535 多站點晶片驗收測試系統(tǒng) 

是一種大功率、高分辨率晶片級解決方案，用于跨制作工作流測試應(yīng)用中的模擬、電動、混合信號和離散設(shè)備。與在一個站點上同時測試多臺設(shè)備的傳統(tǒng)異步并行測試方案不同，S535 的多站點并行測試方法在多個站點上同時測量多臺設(shè)備。這將探測器索引時間至少縮短 2 倍，從而提高制作生產(chǎn)率并降低測試成本。

S535 特點

• 在多站點并行或連續(xù)運(yùn)行中自動執(zhí)行所有晶片級直流參數(shù)測試。觸摸一次探頭測試兩個或四個站點。
• 多達(dá) 64 根測試針：并行測試四個站點，每個站點 16 根針；并行測試兩個站點，每個站點 32 根針；連續(xù)測試一個站點，64 根針
• 高達(dá) 100 W 運(yùn)行：1 A 時 100 V；100 mA 時 200 V
• 在高速、多針、完全自動的測試環(huán)境中 1 fA、10 nV 分辨率
• 基于 Linux 的 Keithley 測試環(huán)境 (KTE) 系統(tǒng)軟件兼容原有 Keithley 測試系統(tǒng)、支持輕松進(jìn)行測試開發(fā)和快速執(zhí)行。
• Keithley S530 型探頭卡基礎(chǔ)設(shè)施也支持原有的 S400 應(yīng)用

S540 參數(shù)測試系統(tǒng) 

是一個全自動化的 48 引腳參數(shù)測試系統(tǒng)，適用于高達(dá) 3kV 的功率半導(dǎo)體器件和結(jié)構(gòu)的晶片級測試。完全集成式 S540 已針對包括碳化硅 (SiC) 和氮化鎵 (GaN) 在內(nèi)的最新復(fù)合功率半導(dǎo)體材料進(jìn)行優(yōu)化，可以在單次測試觸摸中執(zhí)行所有高電壓、低電壓和電容測試。

S540 功能

• 在單次探頭觸摸中自動在多達(dá) 48 個引腳上執(zhí)行所有晶片級參數(shù)測試，包括高電壓擊穿、電容和低電壓測量，而無需更改電纜或探頭卡基礎(chǔ)設(shè)施
• 在最高達(dá) 3kV 的條件下執(zhí)行晶體管電容測量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而無需手動配置測試引腳
• 在高速、多引腳、全自動測試環(huán)境中實現(xiàn)低電平測量性能
• 基于 Linux 的 Keithley 測試環(huán)境 (KTE) 系統(tǒng)軟件支持輕松進(jìn)行測試開發(fā)和快速執(zhí)行
• 非常適合于過程集成、過程控制監(jiān)控和生產(chǎn)芯片分類中的全自動或半自動應(yīng)用
• 通過最大程度減少測試時間、測試設(shè)置時間和占地面積，降低擁有成本，同時實現(xiàn)實驗室級測量性能

S500 集成式測試系統(tǒng) 

是高度可配置的、基于儀器的系統(tǒng)，適用于器件、晶片或暗盒級半導(dǎo)體檢定。S500 集成式測試系統(tǒng)基于我們經(jīng)過驗證的儀器，提供創(chuàng)新的測量功能和系統(tǒng)靈活性，并且根據(jù)您的需求可進(jìn)行擴(kuò)展。獨有的測量能力結(jié)合強(qiáng)大而靈活的自動化檢定套件 (ACS) 軟件，提供市場上其他同類系統(tǒng)無法提供的廣泛應(yīng)用和功能。 
 

S500 功能

• 全量程源測量單元 (SMU) 儀器技術(shù)規(guī)格，包括 subfemtoamp 測量，確保在幾乎任何設(shè)備上都能執(zhí)行廣泛的測量。
• 適用于內(nèi)存檢定、電荷泵、單脈沖 PIV（電荷陷阱分析）和 PIV 掃描（自加熱回避）的脈沖生成和超快 I-V。
• 利用支持 Keithley 系統(tǒng)的可擴(kuò)展 SMU 儀器，提供低或高通道數(shù)系統(tǒng)，包括并行測試。
• 適用于測試功率 MOSFET 和顯示驅(qū)動器等測試器件的高電壓、電流和功率源測量儀器。
• 開關(guān)、探頭卡和布線保證系統(tǒng)完全適用于您的 DUT。