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儀器中文名稱: 臺階儀
儀器型號規(guī)格: Alpha-Step IQ
生產廠商: KLA－TENCOR Corporation
國別: 美國
購置日期(年): 2005-5-1
使用日期(年): 2005-11-1
主要技術指標: 掃描長度：10mm （2）掃描速度：2μm/s～200μm/s （3）臺階高度可重復性： 0.8nm的典型標準偏差或0.1%的測量垂直范圍（對20μm范圍）； 0.4μm的典型標準偏差或0.2%的測量垂直范圍（對400μm范圍）。 （4） 可測樣品最大尺寸：Φ158mm （5） 可測樣品最大厚度：21mm 可測樣品最大重量：1kg
主要附件及功能:
本單位該儀器主要應用領域：材料, 機械工程
檢測項目： 可測量各種材料（如磁盤、半導體晶片、精密加工和拋光面、微電子陶瓷、平面顯示器玻璃、光學平面等）表面的臺階高度。 臺階必須事先做好。臺階作的越陡峭越好，最好是用光刻的方法作出，否則測試的準確性會大大變差。樣品要求：平面尺寸 Φ10mm ～ Φ158mm；厚度 ＜20mm；臺階高度 ＜0.4mm。校內收費標準
收費標準： 520元/小時