儀器中文名稱: 超高真空濺射與蒸發(fā)
儀器型號規(guī)格: JGP450
生產(chǎn)廠商: 中國沈陽科學(xué)儀器中心有限公司 
國別: 中國
購置日期(年): 2008-3-1
使用日期(年): 2008-9-1
主要技術(shù)指標(biāo): ① 檢測抽速：主濺室40分鐘真空度達(dá)到6.6×10-4帕；進(jìn)樣室40分鐘真空度達(dá)到6.6×10-3帕；蒸發(fā)室：40分鐘真空度達(dá)到6.6×10-4帕； ② 檢測氣路：二路進(jìn)氣，分MFC質(zhì)量流量計控制進(jìn)氣，手動進(jìn)氣，備有混氣室。MFC控制范圍：0～100SCCM、0～50SCCM。 ③ 檢測鍍膜：主濺射室磁控靶輝光放電，在指定樣品鍍膜，計算機控制鍍膜時間；蒸發(fā)室：蒸發(fā)源可以蒸發(fā)材料，在指定樣品鍍膜。 ④ 檢測加熱系統(tǒng)：濺射室/蒸發(fā)室，室溫～600℃，程序控溫；進(jìn)樣室退火：退火溫度，最高700℃（三室共用一套加熱控溫系統(tǒng)）。 ⑤ 檢測極限真空：主濺射室6.6×10-5帕；進(jìn)樣室6.6×10-4帕；蒸發(fā)室8.0×10-5帕。 ⑥ 檢測真空漏率：主濺射室/蒸發(fā)室，停機關(guān)泵12小時后真空≤5帕；進(jìn)樣室停機關(guān)泵12小時后真空≤10帕。 
主要附件及功能: 
本單位該儀器主要應(yīng)用領(lǐng)域：材料, 地質(zhì)礦產(chǎn), 機械工程
檢測項目： 單一鍍膜、復(fù)合鍍膜、多層鍍膜 
收費標(biāo)準(zhǔn)： 面議