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SE850 UV/VIS/NIR光譜型橢偏儀
名稱:物性分析測試儀器
品牌:
型號:
簡介:簡單信息: SE850UV/VIS/NIR光譜型橢偏儀可測量大尺寸材料、單層與多層膜、界面、超薄膜與厚膜的厚度與光學(xué)參數(shù)。SE850DUV特別適用于高要求的研發(fā)應(yīng)用,例如測量玻璃上的薄透明膜、有機發(fā)光體、多層半導(dǎo)體材料復(fù)合膜、窗玻璃上的低e...
簡單信息: SE850UV/VIS/NIR光譜型橢偏儀可測量大尺寸材料、單層與多層膜、界面、超薄膜與厚膜的厚度與光學(xué)參數(shù)。SE850DUV特別適用于高要求的研發(fā)應(yīng)用,例如測量玻璃上的薄透明膜、有機發(fā)光體、多層半導(dǎo)體材料復(fù)合膜、窗玻璃上的低e鍍層、最新微電子應(yīng)用如SOI、高k和低k材料,也能分析各向異性和非均勻性樣品。選件.
光譜范圍: 350 nm - 1700 nm
SE 850是SENTECH公司的紫外-可見光-近紅外光譜橢偏儀,是基于紫外-可見光波段快速二極管陣列探測器和近紅外波段快速干涉調(diào)制探測的高性能光譜橢偏儀,能夠快速獲得數(shù)據(jù)并在全波段解析。應(yīng)用FT-IR光譜儀不但能夠提高測量速度、分辨率和信噪比,還能夠提供自動波長校準。
主要應(yīng)用
·測量單層膜或多層膜的厚度和折射率
·在紫外-可見光-近紅外波段測量材料的光學(xué)性質(zhì)
·測量厚度梯度
·測量膜表面和界面間的粗糙程度
·確定材料成分
·分析較厚的膜,厚度范圍可到30微米
·適合測量In攙雜的半導(dǎo)體材料 (InP, InGaAs, InGaAlAs, InN)
選項
·紫外光譜擴展選項,280 - 850 nm
·近紅外光譜擴展選項,1700 - 2300 nm
·計算機控制高性能消色差補償器
·計算機控制起偏器
·計算機控制自動角度計, 40º-90º, 精度0.01º
·手動x-y載物臺,150 mm行程
·電機驅(qū)動x-y載物臺,行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌圖掃描軟件
·透射測量樣品夾具
·攝象頭選項,用于樣品對準和表面檢測
·液體膜測量單元
·反射式膜厚儀FTPadvanced, 光斑直徑80微米
·微細光斑選項
·自動對焦選項,結(jié)合地貌圖掃描選項
·SENTECH標準樣片
·附加許可,使SpectrRay II軟件可以用于多臺電腦
光譜橢偏儀軟件SpectraRay II
基于windows系統(tǒng)的 SpectraRay II 操作軟件包括一個全面的的建模、模擬和擬合軟件包,操作向?qū)В詣虞敵鼋Y(jié)果,單鍵操作,使得軟件界面友好并且橢偏儀操作簡易。
通過運行操作向?qū)?,能夠使操作變的簡單。操作向?qū)軌蛑笇?dǎo)用戶完成標準的測量程序:測量數(shù)據(jù),擬合,輸出結(jié)果。操作向?qū)軌驅(qū)?fù)雜的測量和擬合的設(shè)置變的簡易。
SpectraRay II 軟件也能夠進行反射測量和透射測量。
報告向?qū)軌蜃詣油瓿蓪y量結(jié)果輸出到一個web文件。
商品名稱: UV/VIS/NIR光譜型橢偏儀
商品型號: SE850
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