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日立 SU1510 掃描電子顯微鏡
名稱(chēng)：光學(xué)測(cè)試儀器
品牌：
型號(hào)：
簡(jiǎn)介：日立 SU1510 掃描電子顯微鏡是一款帶有中等尺寸樣品室的可變壓力掃描電子顯微鏡，具有與S -3400N和S -3700N相同的性能和功能。極大地提高了低加速電壓的性能，并增加了電子束電流更適應(yīng)當(dāng)今的SDD X射線探測(cè)器。雙端口可以同時(shí)安...
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- 產(chǎn)品介紹
日立 SU1510 掃描電子顯微鏡是一款帶有中等尺寸樣品室的可變壓力掃描電子顯微鏡，具有與S -3400N和S -3700N相同的性能和功能。極大地提高了低加速電壓的性能，并增加了電子束電流更適應(yīng)當(dāng)今的SDD X射線探測(cè)器。雙端口可以同時(shí)安裝兩個(gè)相隔180度的EDS檢測(cè)器，不僅可以用于元素分析，而且也可消除因樣品的粗糙表面所引起的X射線圖像的陰影。高速，清潔，高效的渦輪分子泵（TMP）無(wú)需使用冷卻水。體型小巧，超高性能和操作便捷等卓越性能使得SU1510成為一款能夠完全滿足任何先進(jìn)實(shí)驗(yàn)室需求的可變壓力的掃描電子顯微鏡。
日立 SU1510 掃描電子顯微鏡特點(diǎn)
標(biāo)準(zhǔn)配備渦輪分子泵（TMP）。因?yàn)闊o(wú)油，最大限度的地減少了樣品污染。和傳統(tǒng)的油擴(kuò)散泵掃描電子顯微鏡不同，此款產(chǎn)品不需較大的加熱功率和水冷循環(huán)裝置，從而使得它成為一款有利于節(jié)能，生態(tài)環(huán)保的掃描電子顯微鏡。
為了幫助沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)的用戶，SU1510通過(guò)屏幕上的操作指南來(lái)引導(dǎo)用戶逐步完成成像過(guò)程 - 從選擇真空模式到捕捉圖像。這項(xiàng)獨(dú)特的功能，使所有不同經(jīng)驗(yàn)水平的用戶都可以快速獲得高質(zhì)量的圖像。
SU1510所采用的先進(jìn)技術(shù)能夠保證二次電子分辨率達(dá)到3.0nm（高真空模式），保證背散射電子分辨率達(dá)到4.0nm（可變壓力模式）。
為了便于對(duì)非導(dǎo)電樣品快速觀察，SU1510采用了可變壓力模式來(lái)消除負(fù)電荷，并為成像和EDX分析提供了最佳條件。（*1）
樣品室和樣品臺(tái)的獨(dú)特設(shè)計(jì)使其可以裝載直徑達(dá)153mm的樣品。分析時(shí)工作距離為15mm，樣品最大高度60mm，可同步進(jìn)行EDX分析和成像。
如用戶需要可變壓力模式下的二次電子像，可選擇ESED-II（*2）配件。因?yàn)樵摍z測(cè)器已集成到SU1510的圖形用戶界面里，并完全采用了全自動(dòng)化軟件驅(qū)動(dòng)模式，以便操作者隨時(shí)使用。
（*1）X射線能譜分析儀（可選件）
（*2）：環(huán)境二次電子檢測(cè)器（可選件）
（*3）：請(qǐng)自備桌子。
（*4）：上述圖像僅為模擬圖像，非實(shí)際圖像。
 項(xiàng)目 |
描述 | |
| 二次電子分辨率 | 30kV時(shí)，3.0nm（高真空模式） | |
| 背散射電子分辨率 | 30kV時(shí)，4.0nm（低真空模式） | |
| 放大倍率 | ×5 - ×300,000 | |
| 加速電壓 | 0.3 - 30kV | |
| 低真空范圍 | 6 - 270Pa 圖形菜單 | |
| 圖像移動(dòng) | ±50µm（WD=15mm） | |
| 最大樣品尺寸 | ¢153mm | |
| 樣品臺(tái) | X | 0 - 80mm |
| Y | 0 - 40mm | |
| Z | 5 - 50mm | |
| R | 360° | |
| T | -20° - 90° | |
| 可觀察區(qū)域 | ¢126mm（可旋轉(zhuǎn)） | |
| 最大樣品高度 | 60mm（WD=15mm） | |
| 電子光學(xué) | 電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 4孔可變物鏡光闌 | |
| 槍偏壓 | 4偏壓（可變偏壓） | |
| 檢測(cè)器 | 二次電子檢測(cè)器 | |
| 高靈敏度背散射電子檢測(cè)器 | ||
| 分析位置 | WD = 15mm, 取出角 = 35° | |
| 顯示器 | 操作系統(tǒng) | Windows® XP（如有更改，恕不另行通知） |
| 控制模式 | 鼠標(biāo)，鍵盤(pán) | |
| 顯示器 | 19英寸液晶顯示器（如有更改，恕不另行通知） | |
| 自動(dòng)合軸 | 自動(dòng)束流設(shè)定，自動(dòng)合軸 | |
| 自動(dòng)圖像調(diào)整 | 自動(dòng)聚焦，自動(dòng)消象散/聚焦 | |
| 自動(dòng)調(diào)整亮度和對(duì)比度 | ||
| 存儲(chǔ)圖像精度 | 640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素 | |
| 2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素 | ||
| 圖像存檔 | 檢索功能/內(nèi)置圖像數(shù)據(jù)庫(kù)，帶圖像處理功能 | |
| 圖像文件格式 | BMP，TIFF，JPEG | |
| 自動(dòng)數(shù)據(jù)顯示 | 加速電壓，放大倍率，微標(biāo)尺，單位，工作距離，日期/時(shí)間，檢測(cè)器，壓力值 | |
| 圖像顯示模式 | 全屏模式：1,280 × 960 像素 | |
| 小屏模式：640 × 480 像素 | ||
| 2分割圖像模式：640 × 480 像素 ×2 | ||
| 信號(hào)混合模式 | ||
| 排氣系統(tǒng) | 操作 | 全自動(dòng)程序 |
| 渦輪分子泵 | 210L/s × 1 | |
| 機(jī)械泵 | 135L/min（162L/min，60Hz）× 1 | |
| 機(jī)械泵 | 斷電保護(hù)，漏電保護(hù) | |
| 輔助功能 | 光柵旋轉(zhuǎn) | |
| 動(dòng)態(tài)聚焦/傾斜補(bǔ)償 | ||
| 動(dòng)態(tài)消像散 | ||
| 自由排版打印功能 | ||
| 三維動(dòng)畫(huà)維修指南 | ||
| 操作指南 | ||
| 測(cè)量方便 | ||
| 傾斜圖像 | ||
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