秦思肯TESCAN S8000G FIB-SEM 掃描電鏡是TESCAN最新S8000系列掃描電鏡的第一個(gè)新成員,是一款超高分辨雙束FIB-SEM系統(tǒng),秦思肯TESCAN S8000G FIB-SEM 掃描電鏡可以提供無與倫比的圖像質(zhì)量,具有強(qiáng)大的擴(kuò)展分析能力,并能以極佳的精度、效率完成復(fù)雜的納米加工和操作,可滿足現(xiàn)今工業(yè)研發(fā)和學(xué)術(shù)界研究的所有需求。
秦思肯TESCAN S8000G FIB-SEM 掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn):新一代鏡筒內(nèi)電子加速、減速技術(shù),保證了復(fù)雜樣品的低電壓高分辨觀測能力;首次配置的靜電-電磁復(fù)合物鏡,物鏡無磁場外泄,實(shí)現(xiàn)磁性樣品高分辨成像及分析;配置4個(gè)新一代探測器,可實(shí)現(xiàn)9種圖像觀測,對樣品信息的采集更加全面;配置大型樣品室,有超過20個(gè)擴(kuò)展接口,為原位觀測、分析創(chuàng)造了良好的工作環(huán)境;可以配置TESCAN自有或第三方的多種擴(kuò)展分析附件,并獨(dú)家實(shí)現(xiàn)與TOF-SIMS、Raman聯(lián)用;新一代操作軟件和自動(dòng)功能,F(xiàn)IB鏡筒具有全自動(dòng)的離子鏡筒對中,極大簡化了操作。
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新一代 Orage™ Ga FIB鏡筒,適用于各類具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務(wù):創(chuàng)新的Orage™ Ga FIB鏡筒配有最先進(jìn)的離子槍和離子光學(xué)鏡筒,使得秦思肯TESCAN S8000G FIB-SEM 掃描電鏡成為了世界頂級的樣品制備和納米圖形成型的儀器。秦思肯TESCAN S8000G FIB-SEM 掃描電鏡束流可達(dá)100nA,具有超快速的加工能力,新穎的SmartMill高速切割功能,使得加工效率提升一倍。秦思肯TESCAN S8000G FIB-SEM 掃描電鏡離子能量最低可達(dá)500eV,擁有更優(yōu)秀的低壓樣品制備能力,可以快速制備無損超薄TEM樣品??梢耘渲肨ESCAN自有或第三方的多種擴(kuò)展分析附件,并獨(dú)家實(shí)現(xiàn)與TOF-SIMS、Raman一體化。
新一代OptiGIS™氣體注入系統(tǒng):秦思肯TESCAN S8000G FIB-SEM 掃描電鏡有兩種氣體注入系統(tǒng)可供選擇,標(biāo)準(zhǔn)的5針-GIS和新一代OptiGIS單針-GIS,單針的OptiGIS支持通過更換氣罐來更換化學(xué)氣體,避免了以往多針氣體注入系統(tǒng)樣品倉內(nèi)占用空間大的問題。兩種氣體注入系統(tǒng)均可以選擇多種沉積氣體,其中W、Pt、C等用于導(dǎo)電材料沉積,SiOx用于絕緣材料沉積,XeF2、H2O等用于增強(qiáng)刻蝕,或其它定制氣體。
新一代Essence™操作軟件,更簡單、高效的操作平臺:秦思肯TESCAN S8000G FIB-SEM 掃描電鏡可配置最新的多種探測器,新操作軟件極大簡化了用戶界面,能快速訪問各主要功能,減少了繁瑣的下單菜單操作,并優(yōu)化了操作流程向?qū)?,易于學(xué)習(xí),兼容多用戶需求,可根據(jù)工作需要定制操作界面。新穎的樣品艙內(nèi)3D空間位置和移動(dòng)軌跡模擬功能,可避免誤操作,造成碰撞。
集成多項(xiàng)創(chuàng)新性設(shè)計(jì),拓展新應(yīng)用領(lǐng)域的利器:秦思肯TESCAN S8000G FIB-SEM 掃描電鏡是TESCAN新一代FIB-SEM的首個(gè)成員,集成了BrightBeam™ SEM鏡筒、Orage™ GaFIB鏡筒、OptiGIS氣體注入系統(tǒng)等多項(xiàng)創(chuàng)新設(shè)計(jì),在高分辨能力、原位應(yīng)用擴(kuò)展能力和分析擴(kuò)展能力方面達(dá)到了業(yè)內(nèi)頂級水平,此外新一代操作流程和軟件也給使用者帶來更舒適、高效的體驗(yàn)。
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