布魯克Bruker Dimension Edge PSS 原子力顯微鏡配備AutoMET測量分析軟件,專為高精度的藍寶石圖形化襯底表征設(shè)計的原子力顯微鏡,搭配AutoMET™測試分析軟件的Bruker Dimension Edge™ PSS 原子力顯微鏡具有超高性價比,是專為LED檢測設(shè)計的用于生產(chǎn)和研發(fā)的原子力顯微鏡。作為Dimension Edge AFM的延伸,現(xiàn)在推出的布魯克Bruker Dimension Edge PSS 原子力顯微鏡。
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布魯克Bruker Dimension Edge PSS 原子力顯微鏡利用AFM的超高分辨率提供襯底和外延層表面粗糙度的精確測量,配備齊全的AutoMET測試分析軟件,自動測試每一個樣品細節(jié),并且高效迅速地完成數(shù)據(jù)分析獲得完整的藍寶石圖形化襯底的信息,大大提升布魯克Bruker Dimension Edge PSS 原子力顯微鏡的性價比,提供前所未有的自動化測量分析功能。利用AFM的超高分辨率提供襯底和外延層表面粗糙度的精確測量,配備齊全的AutoMET測試分析軟件,自動測試每一個樣品細節(jié),并且高效迅速地完成數(shù)據(jù)分析獲得完整的PSS信息:高度、側(cè)壁角度、表面輪廓、直徑(底部尺寸)、間距。Dimension Edge PSS AFM配備自動檢測成像軟件,提供無與倫比的高精度測量數(shù)據(jù),滿足技術(shù)要求,噪聲水平<0.2nm,提供襯底和外延層表面粗糙度的精確測量;樣品臺可容納2-到6-英寸的wafer,可以靈活選擇樣品尺寸進行測量;AutoMET自動測量分析軟件可以同時測量9片2-英寸的wafer。
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