布魯克Bruker InSight-450 3DAFM 原子力顯微鏡
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布魯克Bruker InSight-450 3DAFM 原子力顯微鏡滿足原子水平分辨率為450毫米計量的需要?；诓剪斂薆ruker InSight-450 3DAFM 原子力顯微鏡300毫米的測量范圍,布魯克Bruker InSight-450 3DAFM 原子力顯微鏡適合廣泛的粗糙度,深度和CD的應用程序。功能包括裸晶片工藝驗證、粗糙度表征和坑/凹凸/劃痕缺陷計量;傳入的襯底資格;薄膜和外延沉積性能和微/納米粗糙度angstrom-level階梯高度精度;腐蝕深度的計量過程開發(fā)和控制,內聯抵制剖面測量CD,SWA,l。完整的TEM-like概要;和CMP平坦性能監(jiān)控碟形和侵蝕。布魯克Bruker InSight-450 3DAFM 原子力顯微鏡的靈活性意味著所有這些應用程序都可以在一個單一的工具,從而減少總體成本計量。布魯克Bruker InSight-450 3DAFM 原子力顯微鏡提供這個功能不需要建模,NIST可跟蹤性和任何材料和晶片損壞,使其成為理想的工具提供早期學習與可伸縮性過程開發(fā)生產。
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