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布魯克Bruker InSight AFP 半導(dǎo)體計(jì)量儀
名稱：其他儀器與工具
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簡介：布魯克Bruker InSight AFP 半導(dǎo)體計(jì)量儀是世界上最高的性能和腐蝕深度計(jì)量系統(tǒng)先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)。系統(tǒng)結(jié)合了原子力顯微鏡的最新創(chuàng)新,包括力量的專有PeakForce技術(shù)、原子力分析器的證明長掃描功能。取代昂貴的晶片漿紗切片,洞察AF...
- 產(chǎn)品介紹
布魯克Bruker InSight AFP 半導(dǎo)體計(jì)量儀是世界上最高的性能和腐蝕深度計(jì)量系統(tǒng)先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)。系統(tǒng)結(jié)合了原子力顯微鏡的最新創(chuàng)新,包括力量的專有PeakForce®技術(shù)、原子力分析器的證明長掃描功能。取代昂貴的晶片漿紗切片,洞察AFP監(jiān)測腐蝕深度、碟形,在亞微米和侵蝕特性與無與倫比的可重復(fù)性。以其激進(jìn)的增加速度和準(zhǔn)確性、力量的第五代法新社提供業(yè)界最高的分辨率,最快的分析,快速三維映射死去,亞微米生產(chǎn)和平滑的配置文件。
布魯克Bruker InSight AFP 半導(dǎo)體計(jì)量儀測量非破壞性和不敏感材料,使分析到10nm節(jié)點(diǎn)控制CMP過程。提供最高thorughput可用,系統(tǒng)可以監(jiān)控每小時(shí)15晶片(5網(wǎng)站),1垂直分辨率。布魯克Bruker InSight AFP 半導(dǎo)體計(jì)量儀系統(tǒng)提供3d的熱點(diǎn)信息,使優(yōu)化布置熱管的熱性能更好,更高的電效率,降低整體成本。布魯克Bruker InSight AFP 半導(dǎo)體計(jì)量儀比其他同類儀器提供1-2mm/秒的分析速度,布魯克Bruker InSight AFP 半導(dǎo)體計(jì)量儀擁有<2小時(shí)die-map能力。
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