布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計(jì)量?jī)x是緊湊的原子分析器,是專門(mén)為一個(gè)綜合平臺(tái)CMP設(shè)計(jì)測(cè)量腐蝕半導(dǎo)體。布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計(jì)量?jī)x系統(tǒng)擁有300毫米自動(dòng)處理功能和證明寶石工廠自動(dòng)化軟件。布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計(jì)量?jī)x提供行業(yè)領(lǐng)先的最高精度和分辨率CMP和腐蝕、非破壞性測(cè)量,不需要模型在幾分鐘內(nèi)在線計(jì)量結(jié)果,適合技術(shù)開(kāi)發(fā)、占用空間小且靈活的配置,擁有最佳成本。
布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計(jì)量?jī)x具有優(yōu)越的計(jì)量能力,在先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn),多重圖像光刻技術(shù)利用納米CMP過(guò)程控制要求,滿足depthof——重點(diǎn)需求。布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計(jì)量?jī)x是建立在最新一代AFM掃描提供改善平面度,小于10納米,在65μm X / Y掃描范圍。系統(tǒng)的毫微秒示波器®V 64位AFM控制器提供5 x更快的接觸性能和快5倍調(diào)優(yōu)對(duì)于提高生產(chǎn)率,與增強(qiáng)的可靠性。其DT自適應(yīng)掃描模式也會(huì)導(dǎo)致更快的掃描和改進(jìn)計(jì)量。高級(jí)功能的組合,布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計(jì)量?jī)x分辨率分析器允許angstrom-level精密測(cè)量在宏觀碟形和侵蝕。
布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計(jì)量?jī)x又最具價(jià)值的平臺(tái),靈活的配置支持wafersizes從100毫米到300毫米使精密測(cè)量范圍廣泛的應(yīng)用程序結(jié)束。從高產(chǎn)的實(shí)驗(yàn)室全自動(dòng)晶圓廠的洞察力帽分析器可以優(yōu)化配置最具成本效益的計(jì)量解決方案。
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