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布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計量儀
名稱：其他儀器與工具
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簡介：布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計量儀是緊湊的原子分析器，是專門設(shè)計為一個綜合平臺CMP和腐蝕測量半導(dǎo)體制造商和供應(yīng)商。布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計量儀系統(tǒng)功能300毫米自動處理和證明寶石工廠自動化...
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- 產(chǎn)品介紹
布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計量儀是緊湊的原子分析器，是專門為一個綜合平臺CMP設(shè)計測量腐蝕半導(dǎo)體。布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計量儀系統(tǒng)擁有300毫米自動處理功能和證明寶石工廠自動化軟件。布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計量儀提供行業(yè)領(lǐng)先的最高精度和分辨率CMP和腐蝕、非破壞性測量,不需要模型在幾分鐘內(nèi)在線計量結(jié)果,適合技術(shù)開發(fā)、占用空間小且靈活的配置，擁有最佳成本。
布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計量儀具有優(yōu)越的計量能力，在先進(jìn)技術(shù)節(jié)點,多重圖像光刻技術(shù)利用納米CMP過程控制要求,滿足depthof——重點需求。布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計量儀是建立在最新一代AFM掃描提供改善平面度,小于10納米,在65μm X / Y掃描范圍。系統(tǒng)的毫微秒示波器®V 64位AFM控制器提供5 x更快的接觸性能和快5倍調(diào)優(yōu)對于提高生產(chǎn)率,與增強的可靠性。其DT自適應(yīng)掃描模式也會導(dǎo)致更快的掃描和改進(jìn)計量。高級功能的組合,布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計量儀分辨率分析器允許angstrom-level精密測量在宏觀碟形和侵蝕。
布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計量儀又最具價值的平臺，靈活的配置支持wafersizes從100毫米到300毫米使精密測量范圍廣泛的應(yīng)用程序結(jié)束。從高產(chǎn)的實驗室全自動晶圓廠的洞察力帽分析器可以優(yōu)化配置最具成本效益的計量解決方案。
如果您需要布魯克Bruker InSight CAP 半導(dǎo)體計量儀及布魯克品牌儀器、或者其他品牌儀器，均可聯(lián)絡(luò)我司銷售部門：0731-84284278 84284378。
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