捷歐路JEOL JED-2300/2300F 能譜儀是以“圖像觀察和分析“ 為基本理念的TEM/EDS集成系統(tǒng),通過與SEM的馬達驅(qū)動樣品臺聯(lián)動使用,可以進行大范圍的觀察和分析。EDS通過檢測被電子束激發(fā)出的樣品的特征X射線,確定樣品含有的元素及成分比,可以進行微區(qū)的點分析、線分析及面分析。可以在SEM圖像上指定分析位置,開始EDS分析。將采集的X射線譜圖和Visual PeakID(VID)合成的譜圖進行比較,定性結(jié)果可以通過視覺、數(shù)值判斷。Play Back (回放) 功能。用JEOL制造的EDS采集的元素面分布圖,不僅保存了每一幀中各個像素點的譜圖,還對每一幀中電子束形成的圖像進行了存儲。利用Play back功能,可以進行多角度的分析如觀測譜圖等隨時間的變化等。測試后數(shù)據(jù)能夠回放,可以觀察到樣品按時間順序發(fā)生的變化,這是至今為止無法實現(xiàn)的。此外,利用Play Back功能還可以截取任意指定的畫面。Smile Station™2功能通過在多個視野上自動進行分析,生成SEM和元素面分布圖的無縫蒙太奇圖像,也可以在取得的視野上進行連續(xù)的元素面分布和點分析等。(專利號4175597)。Dry SD 檢測器(SDD檢測器)與傳統(tǒng)的EDS檢測器不同,不需要液氮制冷。使用快速簡單,同時實現(xiàn)了高分辨率和高計數(shù)率處理。進行觀察。