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傳統(tǒng)表面粗糙度測量儀的工作原理

2014-10-30

表面質(zhì)量的特性零件最重要的特性之一,在計量科學中表面質(zhì)量的檢測具有重要的地位。最早們是用標準樣件或樣塊,通過肉眼觀察或用手觸摸,對表面粗糙度做出定性的綜合評定。1929年德的施馬爾茨(G.Schmalz)首先對表面微觀不平度的深度進行了定量測量。1936年美國的艾卜特(E.J.Abbott)研制成功第一臺車間用的測量表面粗糙度的輪廓儀。1940年英國Taylor-Hobson公司研制成功表面粗糙度測量儀“泰呂塞夫(TALYSURF)”。以后,各國又相繼研制出多種測量表面粗糙度的儀器。目前,測量表面粗糙度常用的方法有:比較法、光切法、干涉法、針描法和印模法等,而測量迅速方便、測值精度較高、應用最為廣泛的就是采用針描法原理的表面粗糙度測量儀。本文將詳細討論表面粗糙度測量儀的原理及其改進方案。
 
 
1 傳統(tǒng)表面粗糙度測量儀的工作原理
 
 
1.1 針描法
 
 
針描法又稱觸針法。當觸針直接在工件被測表面上輕輕劃過時,由于被測表面輪廓峰谷起伏,觸針將在垂直于被測輪廓表面方向上產(chǎn)生上下移動,把種移通過電子裝置把信號加以放大,然后通過指零表或其它輸出裝置將有關粗糙度的數(shù)據(jù)或圖形輸出來。
 
 
.2 儀器的工作原理
 
 
采用針描法原理的表面粗糙度測量儀由傳感器、驅(qū)動器、指零表、記錄器和工作臺等主要部件組成,
 
 
電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一,在傳感器測桿的一端裝有金剛石觸針,觸針尖端曲率半徑r很小,測量時將觸針搭在工件上,與被測表面垂直接觸,利用驅(qū)動器以一定的速度拖動傳感器。由于被測表面輪廓峰谷起伏,觸狀在被測表面滑行時,將產(chǎn)生上下移動。此運動經(jīng)支點使磁芯同步地上下運動,從而使包圍在磁芯外面的兩個差動電感線圈的電感量發(fā)生變化。 傳感器的線圈與測量線路是直接接入平衡電橋的,線圈電感量的變化使電橋失去平衡,于是就輸出一個和觸針上下的位移量成正比的信號,經(jīng)電子裝置將這一微弱電量的變化放大、相敏檢波后,獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號。此后,將信號分成三路:一路加到指零表上,以表示觸針的位置,一路輸至直流功率放大器,放大后推動記錄器進行記錄;另一路經(jīng)濾波和平均表放大器放大之后,進入積分計算器,進行積分計算,即可由指示表直接讀出表面粗糙度Ra值。
 
 
指零表的作用反映鐵芯在差動電感線圈中所處的位置。當鐵芯處于差動電感線圈的中間位置時,指零表指針指示出零位,即保證處于電感變化的線性范圍之內(nèi)。所以,在測量之前,必須調(diào)整指零表,使其處于零位。噪聲濾波的目的在于剔除一些干擾信號,如電氣元件的噪聲所引起的虛假信號。大量的測試表明,高于400Hz的信號即不是被測表面粗糙度所引的信號,必須從總信號中加以剔除。所以噪聲濾波器是一種低通(低頻能通過)濾波器,它使400Hz以下的低頻信號順利通過,而將400Hz以上的高頻信號迅速衰減,從而達到濾波的目的。波度濾波的目的則是用以濾掉距大于取樣度的波度,因此它是一個高通(高頻能通過)濾波器,使表面粗糙度所引起的高頻(相對于波度引起的低頻而言)信號能自由通過。
 
 
經(jīng)過噪聲濾波和波度濾波以后,剩下來的就是與被測表面粗糙度成比例的信號,再經(jīng)平均表放大器后,所輸出的電流I與被測表面輪廓各點偏離中線的高度y的絕對值成正比,然后經(jīng)積分器完成 的積計算,得出Ra值,由指零表顯示出來。
 
 
,這種儀器適用于測定0.02-10μm的Ra值,其中有少數(shù)型號的儀器還可測定更小的數(shù)值,儀器配有各種附件,以適應平面、內(nèi)外圓柱面、圓錐面、球面、曲面、以及小孔、溝槽等形狀的工件表面測量。測量迅速方便,測值精度高。
 

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